渦輪分子泵區別于牽引分子泵，它是以高速旋轉的動葉片與靜止的靜葉片相互配合來實現抽氣的：

　　如上圖所示，渦輪分子泵由多級葉列組成，轉子與定子按次序交替排列。葉列的級數與壓縮比有關;葉片的形狀會同時影響抽速與壓縮比，入口抽速大壓縮比小，接近出口則相反。分子泵工作時吸入壓力大多在1Pa以下，此時分子流狀態下，分子間的平均自由行程大，與高速旋轉的葉片之間的碰撞幾率遠高于分子之間的碰撞。因此高速旋轉的葉片會使氣體在外摩擦作用下，形成定向運動流向出口，產生抽氣效果，轉速越高，對抽速越有利。

　　隨著軸承技術、數控技術的發展，空氣軸承、磁懸浮軸承等的應用，渦輪分子泵很好地解決了油污染的問題，目前工作范圍可以從1Pa到10^-9Pa，抽速則從50L/S發展到了25000L/S，甚至到達了40000L/S。

　　與牽引分子泵相比，渦輪分子泵在分子流狀態下抽速優勢明細，但同時它在過渡流及黏滯流狀態下抽速會很小，對前級泵的要求較高。而牽引分子泵的壓縮比與抽氣槽形有關，提升簡單，因此就出現了結合兩種分子泵有點的復合分子泵。干式螺桿真空泵廠家在下一篇中繼續為大家介紹。